Установка совмещения и экспонирования переносит микроскопические рисунки с фотошаблонов на светочувствительные подложки. Новинка от Jiangsu Haisi оснащена двумя независимыми транспортными комплексами и четырьмя роботизированными манипуляторами, которые обеспечивают автоматическую загрузку и выгрузку пластин через системы SMIF. Высокую точность процесса, при которой погрешность совмещения составляет менее ±0,5 мкм, поддерживает интеллектуальная трехточечная система на воздушной подвеске. Последняя позволяет эффективно работать даже с деформированными или сверхтонкими носителями.
Разработка предназначена преимущественно для выпуска Micro LED на кремниевой основе. Специализирующаяся на контактной литографии компания Jiangsu Haisi Semiconductor уже имеет опыт поставок подобных решений для нужд университетских лабораторий и профильных исследовательских центров. С запуском этого комплекса производитель укрепляет позиции на рынке оборудования для фотолитографии, расширяя возможности своих площадок в Сучжоу и Чэнду.
Комментарии (0)
Пока нет комментариев. Будьте первым!