Проект реализован силами НИИ НПО «ЛУЧ» и института «Гиредмет» при поддержке Минпромторга в рамках стратегии развития электронного машиностроения. Ключевая задача состояла в достижении экстремальных показателей качества: для ионной имплантации требуется содержание основного вещества на уровне 99,9999%. Ранее подобные материалы в России в промышленных масштабах не производились.
По словам директора по научным госпрограммам «Росатом Науки» Ивана Мазилина, запуск собственной линии позволяет закрыть критическую потребность отрасли. Наличие локального источника сырья такой чистоты сокращает зависимость от внешних поставок и обеспечивает стабильность техпроцессов на российских микроэлектронных заводах.
Комментарии (0)
Пока нет комментариев. Будьте первым!